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机译:7.9用于VLsI应用的集成微电子机械开关电路的演示
Fred Chen; Matthew Spencer; Rhesa Nathanael; Chengcheng Wang; Jaeseok Jeon; Tsu-jae King Liu; Dejan Markovic; Vladimir Stojanovic; Elad Alon;
机译:用于VLSI应用的集成微机电继电器电路的演示
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机译:用于切换电信号的机电微动开关,微机电系统,集成电路以及用于生产集成电路的方法
机译:用于切换电信号的机电微动开关,微机电系统,集成电路以及集成电路的制造方法
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